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SCREEN 光干涉膜厚仪 2-12寸晶圆通用

  • 产品型号：VM-1020
  • 更新时间：2026-06-10

简要描述：SCREEN 光干涉膜厚仪 2-12寸晶圆通用VM-1020，这是一款专为研发（R&D）设计的显微镜型测量设备，旨在提供高精度、高速度的薄膜厚度分析解决方案。

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品牌其他品牌产地类别进口
应用领域综合
SCREEN Semiconductor Solutions 推出的 VM-1020 光谱膜厚测量系统。这是一款专为研发（R&D）设计的显微镜型测量设备，旨在提供高精度、高速度的薄膜厚度分析解决方案。

SCREEN 光干涉膜厚仪 2-12寸晶圆通用

产品概览


VM-1020 是一款结合了显微镜和光谱仪的精密仪器。它通过分析样品表面的反射光，在可见光范围内同时测量所有波长，从而实现对薄膜厚度的快速、高精度测定。


核心特性


  • 高速高精度测量：采用光纤输入型 CCD 光谱仪，能够同时测量全波段光谱，配合高性能 CPU 进行高速运算，可立即显示膜厚数值。

  • 操作简便：系统内置“配方向导"功能，极大地简化了复杂配方的创建过程，同时改进了配方的注册与管理。

  • 专为研发设计：其显微镜结构使其特别适合在研发环境中进行精确的局部测量。


主要测量功能


该系统具备强的大的分析能力，可满足多样化的测量需求：

  • 多层膜测量：支持 25 种类型的层状薄膜测量（UV 模式下支持 29 种），并可同时测量最多 四层 的层状薄膜。

  • 光谱分析：能够测量光谱反射率。

  • 数据可视化：提供测量数据的三维映射图及其他统计输出。

  • 蚀刻率计算：可计算蚀刻速率。

  • 自定义功能：允许用户注册新的薄膜类型。


技术规格

项目详细参数
产品名称VM-1020
产品类型光谱膜厚测量系统
适用场景研发（R&D）
晶圆尺寸50mm - 300mm


SCREEN 光干涉膜厚仪  2-12寸晶圆通用VM-1020，这是一款专为研发（R&D）设计的显微镜型测量设备，旨在提供高精度、高速度的薄膜厚度分析解决方案。


SCREEN 光干涉膜厚仪  2-12寸晶圆通用VM-1020，这是一款专为研发（R&D）设计的显微镜型测量设备，旨在提供高精度、高速度的薄膜厚度分析解决方案。



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