美国 entegris 在线气体过滤器 GTL 可靠地去除惰性气体中的颗粒，流速高达 80 slpm。 1.提供高效、低成本的惰性气体使用点过滤 2.去除直径大于 0.0015 µm 的所有颗粒，去除率 99.9999999% Wafergard® GTL 在线气体过滤器应用 1.低空气进气过滤器 2.洁净干燥空气（CDA） 3.晶圆传送系统

美国 entegris 微型直列式气体过滤器 II F 这些气体过滤器适用于惰性气体和活性气体，与所有类别的半导体工艺气体具有出色的兼容性，并且易于安装在狭窄的气体面板和机柜中。 1.PTFE 膜提供高效过滤 2.低压降降低了低蒸气压气体凝结的风险 3.与各类半导体工艺气体具有出色的兼容性 4.适用于惰性气体和活性气体，包括臭氧

美国 entegris 在线气体过滤器 MAX HT 适用于高温、超纯气体应用的卓的越颗粒过滤。 1.专为高达 200°C (392°F) 的高温 TEOS 和高 k 应用而设计 2.整体设计（148 毫米 [5.82 英寸]）是类似过滤器的直接替代品 3.紧凑的尺寸适合许多现有的输送系统，并提供设计灵活性和多功能性 4.特殊烘烤可快速启动气体输送 5.低压差提供稳定且更好的物料输送

美国 entegris 在线气体过滤器 II F Mini XL 在气板、气柜以及晶圆处理中需要超纯气体的任何地方进行卓的越的颗粒过滤。 1.紧凑型装置减少了整体气箱占地面积，节省了宝贵的设备空间 2.PTFE 膜提供高效过滤，提高产品产量 3.低压降降低了低蒸气压气体凝结的风险 4.与各类半导体工艺气体具有出色的兼容性 5.适用于惰性气体和活性气体，包括臭氧

美国 entegris 在线 PTFE 气体过滤器 MAX-1000 这些在线气体过滤器采用 由 PFA 结构和 316L 不锈钢外壳支撑的 PTFE 膜， 在超纯气体应用中提供 卓的越的颗粒过滤。 1.过滤面积大，过滤效率提高 3 倍，压降低，流量大 2.与当前过滤器相同的长度尺寸允许轻松实施，而无需更改气体面板或输送系统的设计。 3.过滤器使用寿命延长，比上一代长 3 倍