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日本YAMADA KOGAKU（山田光学）高亮度的定向光源怎么检测半导体晶圆？

更新时间：2026-06-17      浏览次数：38
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这款设备通过提供超高亮度的定向光源，来辅助人工或机器视觉系统检测半导体晶圆表面的微观缺陷。它由YAMADA KOGAKU 公司生产的设备（如YP-150I、YP-250I及YP-250IL型号）的具体检测原理和应用方式如下：

日本YAMADA KOGAKU（山田光学）高亮度的定向光源怎么检测半导体晶圆？

核心检测原理

这款设备本质上是一个高亮度卤素/LED光源装置，它并不直接“分析"缺陷，而是通过提供极的致的照明条件，让缺陷“无所遁形"。
  1. 超高照度（High Illuminance）：

    • 设备的照度（Illuminance）达到 400,000 Lx以上。

    • 这一亮度是日光（Sunlight）的4倍以上。如此高强度的光线能够穿透微观层面，使得通常肉眼难以察觉的微小瑕疵产生明显的光影变化，从而被观察到。

  2. 宏观观察（Macro-observation）：

    • 它属于宏观观察照明设备，主要用于晶圆加工过程中的最终成品表面检测。


具体检测对象

在半导体晶圆和液晶基板的加工阶段，该设备主要用于检测以下类型的缺陷：

  • 异物/外来物（Foreign matter）：附着在表面的灰尘或杂质。

  • 划痕（Scratches）：表面的线性损伤。

  • 抛光不均（Polishing irregularities）：表面处理不平整。

  • 晕染/雾状缺陷（Haze）：表面出现的模糊或散射现象。

  • 滑移线（Slips）：晶体结构中的滑移痕迹。


技术规格与应用

特性维度详细说明
光斑直径根据型号不同（YP-150I / YP-250I / YP-250IL），照射直径分为 30mmφ 或 40mmφ。
照射距离有效工作距离为 140mm 或 220mm（取决于型号）。
光源类型提供 卤素灯（高亮度，色温约3400K）和 LED（寿命长达10,000小时）两种选择。
应用场景直接应用于 Wafer and glass substrate inspection（晶圆和玻璃基板检测）。


总结

简单来说，这款设备就像一个超级聚光灯。在检测时，它将非常强的光线聚焦在晶圆表面（30mm或40mm范围），利用光的反射、折射和散射原理，将微米甚至纳米级的缺陷放大成肉眼或传感器可见的明暗对比，从而帮助操作人员或自动化系统识别出异物、划痕等问题。



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