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日本INTECS超高辉度检查用照明装置UIH-1H的使用说明书

更新时间:2026-05-20      浏览次数:20

日本株式会社インテックス生产的“超高辉度检查用照明装置"(型号:UIH-1H)的使用说明书。该设备主要用于半导体晶圆、掩模玻璃、光学部件等精密元件的表面瑕疵(如雾状缺陷/ヘイズ)检测。

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一、产品概述与用途


  • 产品名称:超高辉度检查用照明装置(UIH-1H型)

  • 主要用途:用于检查抛光晶圆(Polished Wafer)的表面雾状缺陷(Haze)。它会在照射面上投射出三条检查标记。

  • 产品特点:与TAM-1C型(亮度优先)不同,UIH-1H型侧重于成像质量,同时保持高亮度。

  • 适用范围:半导体晶圆、掩模玻璃、光学部件、透镜等。


二、安全警示与注意事项


使用前必须遵守以下关键安全规则,以防触电、火灾或人身伤害:

  • 禁止湿手操作:防止触电和设备故障。

  • 禁止直视光源:灯源发出超高亮度光线,直接窥视会损伤眼睛。

  • 禁止带电拆卸:非专业维修人员不得分解、改造或修理,以防起火、触电或烫伤。

  • 高温警告:灯箱(Lamp House)及照射部分温度极的高的,需避免接触,并远离易燃性气体。

  • 电源要求:仅限使用 AC100V 电源,使用其他电压会导致设备损坏。

  • 环境要求:避免在多尘、高温、潮湿或有振动的环境中使用。


三、组装与操作步骤


1. 开箱清单


  • 电源部 x1

  • 灯箱(Lamp House) x1

  • 电缆 x1

  • 长支柱(带夹具) x1

  • 短支柱 x1

  • 六角扳手 x1

  • 保险丝(5A) x1(备用)


2. 组装流程


  • 固定支柱:使用六角扳手将长支柱与电源部固定。

  • 安装灯箱:将灯箱与长支柱进行固定。


3. 使用方法(操作顺序)


  • 步骤1:电源连接:将电源线接入AC100V插座。

  • 步骤2:开启电源:将电源部正面的“INTENSITY"旋钮向右旋转,听到“咔哒"声后电源接通,指示灯显示“STANDING_BY"。

  • 步骤3:点亮灯泡:继续缓慢向右旋转“INTENSITY"旋钮,灯泡将微亮并逐渐变亮。

  • 步骤4:调整亮度:通过“INTENSITY"旋钮调节至所需亮度。

  • 步骤5:对焦:点亮后镜筒会发热,建议在低亮度下尽快完成对焦。

  • 步骤6:关闭电源:使用完毕后,先将开关拨回“STANDING_BY",等待3分钟以上冷却后,再将旋钮向左旋转到底切断电源。


四、维护与消耗品


  • 灯泡寿命

    • 最高亮度下:约 50小时

    • 半亮度下:约 800小时

  • 延长寿命技巧:辉度与照射面积成反比。通过限制照射面积并仅调整至所需亮度,可显著延长灯泡寿命。

  • 专用消耗品

    • 灯泡型号:UIH-1C专用 15V 150W 二向色镜型卤素灯(每箱10个)。

    • 保险丝:迷你型 5A(每包5个)。

该说明书详细规范了UIH-1H型高精度照明设备的操作流程与安全红线,特别强调了AC100V专用电源高温防护关机后3分钟强制冷却等关键操作节点,对于保障设备寿命及用户安全至关重要。
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