UIH-1H 结像型检测灯：专用于半导体抛光晶圆 Haze（雾度）检测

更新时间：2026-02-28

浏览次数：14

返回列表

本文介绍了株式会社 INTECS 开发的 UIH-1H 型超高亮度照明装置。该设备利用丁达尔现象，专为精密光学检测设计。其核心定位在于 “结像重视" （成像清晰度），区别于单纯的高亮度照明设备。UIH-1H 的主要功能是专攻半导体抛光晶圆（Polish Wafer）的 Haze（雾度）检测，通过独特的光学系统在晶圆表面投影出3条检查标记，使操作人员能直观判断表面微米级的雾状缺陷。同时，该设备也适用于广泛的 “半导体晶圆与掩膜玻璃专用" 场景，可用于检查表面异物、伤痕及内部气泡。文章详细列出了其 15V 150W 的光源规格，并强调了其特的有的3分钟强制冷却关机流程，以确保设备在高洁净度工业环境下的稳定性和 longevity。

UIH-1H 结像型检测灯：专用于半导体抛光晶圆 Haze（雾度）检测

1. 设备概述
UIH-1H 型超高亮度照明装置（UIH Series）由株式会社 INTECS 开发。该设备利用丁达尔现象（Tyndall Phenomenon），通过高亮度光线照射，使微小的异物、气泡或伤痕产生光散射。

与同系列的 UIH-1C 型号不同，UIH-1H 在设计上侧重于成像清晰度（结像重視），而非单纯的高亮度。

2. 核心用途与检测原理

核心用途：该设备专为抛光晶圆（Polish Wafer）的 Haze（雾度/浊度）检测而设计。
光学特性：UIH-1H 能够在照射面上投影出 3 条特定的检查标记。这些标记有助于操作人员清晰地观察晶圆表面的雾状缺陷（Haze）。
适用对象：主要针对半导体晶圆，同时也适用于掩膜玻璃（Mask Glass）、光学部件及镜头等精密部件的表面检查。

3. 技术规格

项目	规格参数
光源规格	15V 150W 专用卤素灯
设计特点	结像重视型 (Imaging Emphasis)
灯泡寿命	最高亮度下约 50 小时 / 半亮度下约 800 小时
电源要求	AC100V

4. 操作规范（重点）

结束使用流程：检测结束后，先将灯泡开关拨回 STANDING BY 状态。必须冷却 3 分钟以上，待内部温度下降后，再切断电源。这是为了保护设备并确保下一次使用的稳定性。