热门关键词： TK-100tekhne 在线露点仪 半导体 气体纯度控制 hth358华体会 CM-26dG日本konicaminolta便携式分光光度计 CM-36dGV日本konicaminolta分光光度计 hth365华体会 hth359华体会 HLF系列日本hirochiku大型高速加热电炉 SF系列日本hirochiku超快速加热电炉 hm华体会 KOH2系列日本kofloc氢气发生器 365华体会 SPD03A0S日本optosigma LD半导体制冷片驱动电源 TOC-1000e日本shimadzu半导体在线TOC分析仪 CL-200A日本konicaminolta色彩照度计 动力臂日本meikikou剪刀式举升机 ac米兰华体会

products

产品分类

技术文章/ article

您的位置：首页  -  技术文章  -  nasgiken简易微量金属污染物回收装置

nasgiken简易微量金属污染物回收装置

更新时间：2025-07-26      浏览次数：23
返回列表
NASGiken的简易微量金属污染物回收装置是一种专门用于半导体制造和纳米技术领域中，从硅晶片表面和侧面回收微量金属污染物的设备。以下是关于该装置的详细介绍：

产品特点

  • 自动化操作：设备可以自动完成采样液的供给、支架具的装卸以及采样液的回收，从而减少操作员引起的污染。
  • 多种采样模式：通过与计算机联机，可选择丰富多样的采样模式，包括圆环形、扇形、固定半径、圆弧等，还能对晶圆正面以及端面的微量金属污染物进行采样操作。
  • 适用性广泛：对于硅材质以外的晶圆、由于基体蚀刻等导致表面粗糙的晶圆也可进行采样操作。
  • 减少人为污染：采样操作由设备自动完成，无需熟练工就可轻松完成采样操作。
  • 自动清洗功能：具备自动清洗盛装收集液体的容器的功能，降低人为污染的风险，并减少工作人员之间分析准确性的差异。

技术规格

  • 操作控制：通过电脑完成。
  • 外形尺寸：以SC-9200为例，其外形尺寸为690×550×790mm。
  • 重量：SC-9200的重量为55Kg。
  • 外部资源：需要电源(100～240VAC)、纯净水、N2、干洁气源。

应用场景

主要应用于半导体制造过程中，对硅晶片进行表面和侧面的微量金属污染物分析。适用于需要高精度和高效率分析的环境，如半导体制造厂、材料研究机构等。

优势

  • 提高分析效率和准确性：通过减少人为污染和提高采样精度，有助于提高半导体产品的质量和可靠性。
  • 专的利技术：拥有对硅晶圆端面污染物采样的“端面采样"技术已取得国际专的利，对亲水晶圆的采样技术也已取得国内专的利。
  • 完善的售后服务：原则上，有海内外的维修委托时，在48小时内与用户进行联系沟通。

型号对比

表格
设备名称SC-3100SC-8150SC-9100SC-9200
操作控制电脑手动自动自动
支架具的装/卸自动手动自动自动
采样液的供给自动手动自动自动
采样液的回收自动手动自动自动
采样基本模式圆环形、扇形、固定半径、圆弧---
采样追加模式端面、弧形、长方形---
晶圆排片对圆环形、固定半径、端面采样模式有追加项---
吸取式采样〇-〇〇
亲水面采样-〇〇〇
外形尺寸(WxDxH)(mm)600×494×600600×494×700600×494×790690×550×790
重量35Kg40Kg50Kg55Kg
安装环境无尘通风柜内---
所需外部资源电源(100～240VAC)、纯净水、干洁气源电源(100～240VAC)、N2、干洁气源电源(100～240VAC)、纯净水、N2、干洁气源电源(100～240VAC)、纯净水、N2、干洁气源
NASGiken的简易微量金属污染物回收装置以其高效的污染物收集能力、自动化操作和技术，为半导体制造领域提供了一种创新的解决方案。



公司简介  >  在线留言  >  联系我们  >  
产品中心
仪器
推荐产品

CONTACT

EMAIL：jiuzhou_dr@163.com
扫码微信联系
版权所有©2025 深圳九州工业品有限公司 All Rights Reserved   备案号：粤ICP备2023038974号   sitemap.xml技术支持：化工仪器网   管理登陆
Baidu
map